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  光刻机主要是由工件台、投射目镜和灯源三大核心分系统件构成。

  直线电机光刻机工件台是光刻机的关键分系统之一，其核心作用是承重晶圆依照指定轨迹做快速超精密健身运动并进行一系列曝出需要姿势，包含上下片、指向、晶圆脸形精确测量和曝出等。

   光刻机双工件台，则在一台光刻机内有两种承重晶圆的工件台。2个工件台互不相关，但是同时运作，一个工件台上的晶圆做曝出时，另一个工件台对晶圆做精确测量等曝出前期准备工作工作中。当曝出完毕之后，2个工件台交换位置和职责，这般周而复始完成光刻机的增产能； 光刻机工件台承重晶圆依照指定轨迹做快速超精密健身运动并进行一系列曝出需要姿势。

   2012年朱煜与清华大学IC武器装备团队里的7人联合投资建立了华卓精科，目标就是攻破光刻机超精密双工件台技术性。 在现有的技术积累和国家项目资金的支持下，经历短短的多年时长华卓精科的双工件台样品，就可以通过国家高新科技重点项目的工程验收，我国也成了继法国以后第二个把握光刻机双工件台科技的国家

  华卓精科的双工件台应用磁悬浮电机计划方案，可以借助磁悬浮电机推动超精密的乘片台，最大能够实现纳米屏幕分辨率的套刻精密度。 北京市华卓精科现在是全国首家自主开发以实现直线电机光刻机双工件台商业化的制造的公司，是国产高端光刻机行业龙头上海微电子的双工件台产品和科研开发的服务商；

  华卓精科的“主打产品”光刻机双工件台，是芯片制造IC前光刻机的关键部件之一，其功能在光刻机对晶圆开展光刻技术时具有关键性危害； 现阶段问世的纳米超精密气浮机健身运动台，包括宏动控制模块与轴体控制模块。轴体控制模块选用研发的气浮机滚动轴承及音圈电机推动，宏动控制模块通常采用U型无铁心直线电机，可以实现平面图X、Y同歩健身运动；选用干涉仪做为部位意见反馈，完成纳米精度等级与重复定位精度。 

  大家总听的光刻机工件台在扫描仪曝出环节中规定纳米的精度等级,使用了长行程安排直线电机粗动加音圈电机精密加工轴体偿还的6可玩性复合运动系统软件能符合要求。并为减少轴体电动机的健身运动范围和瞬时速度,得提升直线电机的轨迹跟踪精密度。

  U型无铁心直线电机和音圈电机要在半导体行业快速超精密健身运动行业不可缺少的精密配件，并对稳定性平稳行一致性规定非常高，完善的生产工艺流程和完备的选料规范及其精确的机械加工制造是对我国直线电机生产商基本上的需求；